Prozesscharakterisierung und -Korrektur mit einem Optischen Wandprozesssensor (owps)

EP4493890 Art A1 22. Januar 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4493890
Aktenzeichen: EP23771383
Anmeldetag: 15. März 2023
Veröffentlichung: 22. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/06G01N21/84G06Q50/10G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

6.825 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von