Interferometrische Messvorrichtung

EP4495538 Art A1 22. Januar 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4495538
Aktenzeichen: EP24188820
Anmeldetag: 16. Juli 2024
Veröffentlichung: 22. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02017G01B9/02098G01M11/00G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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