Euv-Durchlässiges Filmherstellungsverfahren und Pellikel

EP4495686 Art A1 22. Januar 2025

Anmelder: NGK Insulators, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4495686
Aktenzeichen: EP22932256
Anmeldetag: 18. März 2022
Veröffentlichung: 22. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK Insulators, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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