Datenanalysesystem, Datenanalysevorrichtung, Datenanalyseverfahren und Computerprogramm

EP4495721 Art A1 22. Januar 2025

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4495721
Aktenzeichen: EP23770536
Anmeldetag: 7. März 2023
Veröffentlichung: 22. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418G06Q50/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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