Verfahren und Vorrichtung zum Schutz Sauerstoffsensitiver Targetmaterialien in einer Beschichtungsquelle
EP4496908
Art A1
29. Januar 2025
Anmelder: FHR Anlagenbau GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4496908
- Aktenzeichen
- EP23707672
- Anmeldetag
- 22. Februar 2023
- Veröffentlichung
- 29. Januar 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/00C23C14/34C23C14/56H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FHR Anlagenbau GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Vertreten von
Querner, Yvonne Anne
Dresden, Deutschland
8
Patente gesamt
9
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte