Shuttersystem zum Spaltfreien Abschirmen einer Beschichtungsquelle und Zugehöriges Verfahren

EP4496909 Art A1 29. Januar 2025

Anmelder: FHR Anlagenbau GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4496909
Aktenzeichen
EP23707883
Anmeldetag
22. Februar 2023
Veröffentlichung
29. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/00C23C14/34C23C14/56H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
FHR Anlagenbau GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Querner, Yvonne Anne Dresden, Deutschland
8
Patente gesamt
9
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Medizintechnik & Gesundheit Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Textiltechnik
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