Elektrostatische Einspannvorrichtung mit Laserbearbeiteten Mesas

EP4497155 Art A1 29. Januar 2025

Anmelder: Applied Materials Inc; 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4497155
Aktenzeichen: EP23775434
Anmeldetag: 21. Februar 2023
Veröffentlichung: 29. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H01L21/687C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials Inc;
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von