Computerimplementiertes Verfahren zur Erkennung von Anomalien in einem Abbildungsdatensatz eines Wafers und Systeme mit Verwendung Solcher Verfahren

EP4500399 Art A1 5. Februar 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4500399
Aktenzeichen: EP23713923
Anmeldetag: 27. März 2023
Veröffentlichung: 5. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G06N3/082G06N3/0985G06N3/0455G06N3/0895G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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