Einseitiges Verfahren zum Füllen von Kontaktlöchern in Durchgangslöchern

EP4500577 Art A1 5. Februar 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4500577
Aktenzeichen
EP23775572
Anmeldetag
21. März 2023
Veröffentlichung
5. Februar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/48H01L21/683H01L23/498H05K3/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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