Korrekturvorrichtung, Belichtungsvorrichtung, Beschichtungs-/entwicklervorrichtung, Belichtungssystem, Belichtungsverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP4503108 Art A1 5. Februar 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4503108
Aktenzeichen: EP22933506
Anmeldetag: 25. März 2022
Veröffentlichung: 5. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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