Optischer Spektrumssensorwafer oder Roboter zur Kammerzustandsüberwachung
EP4505161
Art A1
12. Februar 2025
Anmelder: Applied Materials Inc; 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4505161
- Aktenzeichen
- EP23785153
- Anmeldetag
- 10. März 2023
- Veröffentlichung
- 12. Februar 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/25G01B11/06H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials Inc;
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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