Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Dichte eines Radikals in einem Gas

EP4505166 Art A1 12. Februar 2025

Anmelder: Inficon AG 🇱🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4505166
Aktenzeichen: EP23711970
Anmeldetag: 13. März 2023
Veröffentlichung: 12. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N25/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon AG
Land: 🇱🇮 Liechtenstein

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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