Sensoranordnung für eine Oberflächenmessung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4509812

Aktenzeichen

EP24182941

Anmeldetag

18. Juni 2024

Veröffentlichung

19. März 2025

Rechtsraum

EP

IPC

G01M11/02G01B11/24

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensoranordnung (10) zum Erfassen einer Eigenschaft einer in einer ersten Ebene (T1) liegenden Oberfläche (1.1) eines Objekts (1). Die Sensoranordnung (10) weist eine Lichtquelle (12), ein strahlteilendes Element (14), ein Detektorelement (16) und ein Gitterelement (18) auf. Das Gitterelement (18) ist zwischen dem Detektorelement (16) und dem strahlteilenden Element (14) angeordnet. Das Gitterelement (18) dient zum Erzeugen eines Intensitätsmusters (101-1; 101-2) auf einer in einer zweiten Ebene (T2) liegenden strahlungsempfindlichen Oberfläche (16.1) des Detektorelements (16). Die Sensoranordnung (10) weist ein erstes Linsensystem (20.1) zur Abbildung der ersten Ebene (T1) auf die zweite Ebene (T2) auf. Das erste Linsensystem (20.1) ist in einem Detektionsstrahlengang zwischen dem Detektorelement (16) und dem Objekt (1) angeordnet.

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete