Beschichtungssystem und Verfahren für Halbleiterbauelemente
EP4511523
Art A1
26. Februar 2025
Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4511523
- Aktenzeichen
- EP23722259
- Anmeldetag
- 20. April 2023
- Veröffentlichung
- 26. Februar 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/04C23C14/34C23C14/35C23C14/50C23C16/44H01J37/34C23C14/56H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
Vertreten von
Heine-Kempkens, Claus
Maienfeld, Schweiz
11
Patente gesamt
4
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte