Siliciumvorläuferverbindung und Herstellungsverfahren dafür sowie Siliciumhaltiges Dünnschichtherstellungsverfahren mit dem Siliciumvorläufer

EP4516961 Art A1 5. März 2025

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4516961
Aktenzeichen: EP23796676
Anmeldetag: 14. April 2023
Veröffentlichung: 5. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34C23C16/36C23C16/40C23C16/30C23C16/455C23C16/32C07F7/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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