Polierzusammensetzung und Verfahren zum Polieren eines Substrats unter Verwendung der Zusammensetzung

EP4520798 Art A1 12. März 2025

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4520798
Aktenzeichen: EP24198184
Anmeldetag: 3. September 2024
Veröffentlichung: 12. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02C09K3/14H01L21/3105H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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