Verfahren zum Betreiben einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage

EP4521169 Art A1 12. März 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands B.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4521169
Aktenzeichen: EP23195956
Anmeldetag: 7. September 2023
Veröffentlichung: 12. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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