Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Halbleiterbauelement

EP4521878 Art A1 12. März 2025

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4521878
Aktenzeichen
EP24798710
Anmeldetag
8. April 2024
Veröffentlichung
12. März 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H10B43/27H01L21/20H01L21/28H10D30/01H10D30/67H10D30/68H10D30/69H10B41/27
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Canon Anelva Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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