Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Halbleiterbauelement
EP4521878
Art A1
12. März 2025
Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4521878
- Aktenzeichen
- EP24798710
- Anmeldetag
- 8. April 2024
- Veröffentlichung
- 12. März 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H10B43/27H01L21/20H01L21/28H10D30/01H10D30/67H10D30/68H10D30/69H10B41/27
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Anelva Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
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