Implantationsrad zur Bildung einer Schwächungsebene in einer Vielzahl von Spenderwafern

EP4523247 Art A1 19. März 2025

Anmelder: SOITEC 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4523247
Aktenzeichen: EP23726042
Anmeldetag: 10. Mai 2023
Veröffentlichung: 19. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SOITEC
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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