Flüssigkeitsführung für ein Vakuumpumpensystem

EP4526570 Art A1 26. März 2025

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4526570
Aktenzeichen
EP23715215
Anmeldetag
22. März 2023
Veröffentlichung
26. März 2025
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/14F04B49/06F04B49/22F04B49/24F04D27/00F04C28/26F04D19/04F04C25/02H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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