Metallisches Sputtertarget, Herstellungsverfahren dafür und Metallmaterial und Herstellungsverfahren dafür

EP4527971 Art A1 26. März 2025

Anmelder: Tosoh Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4527971
Aktenzeichen
EP23807685
Anmeldetag
18. Mai 2023
Veröffentlichung
26. März 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34B22F3/15B22F3/24C22F1/00C22F1/11C22F1/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tosoh Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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