Verfahren zur Herstellung von Uhrenkomponenten aus Silizium

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4528387

Aktenzeichen

EP24200890

Anmeldetag

17. September 2024

Veröffentlichung

26. März 2025

Rechtsraum

EP

IPC

G04B1/14B81C99/00G04B13/02G04B15/14G04B17/06G04B19/04

Abstract

Un procédé de fabrication d'une pluralité de composants horlogers (90) présentant des surfaces flancs (95) dans une plaquette de fabrication de type SOI (10) est décrit. La plaquette SOI (10) comprend une couche de support (20) en silicium, une couche de travail (30) en silicium, et une couche d'oxyde enterrée (40) en oxyde de silicium séparant la couche de support (20) de la couche de travail (30). Le procédé comprend les étapes de : (a) former les composants horlogers (90) en gravant des motifs dans la couche de travail (30) ; (b) oxyder thermiquement la plaquette SOI (10) afin de former une couche d'oxyde (55) sur les surfaces flancs (95) des composants horlogers (90) gravées dans la couche de travail (30) ; et (c) éliminer, en une seule étape, la couche d'oxyde (55) sur les surfaces flancs (95) des composants horlogers (90) ainsi qu'au moins une partie de la couche d'oxyde enterrée (40) de la plaquette SOI (10) en dessous des composants horlogers (90) afin de lisser lesdites surfaces flancs (95) et afin de libérer les composants horlogers (90) de ou dans la plaquette SOI (10), les composants horlogers (90) libérés n'étant supportés structurellement que par des ponts de liaison (35) dans la couche de travail (30). Lors de la libération des composants horlogers 90, soit toute la couche de travail 30 soit une partie 30A de cette couche de travail 30 comprenant tous ou un sous-ensemble des composants horlogers 90, est séparée du reste de la plaquette SOI 10 et notamment de la couche de support 20.

Anmelder

Firma

Richemont International S.A.

Land

🇨🇭 Schweiz

Fachgebiete