Schaltbare Unterschichten für die Euv-Lithographie

EP4530722 Art A3 9. April 2025

Anmelder: INTEL Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4530722
Aktenzeichen: EP24195966
Anmeldetag: 22. August 2024
Veröffentlichung: 9. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11G03F7/075G03F7/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: INTEL Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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