Substrathaltevorrichtung, Substratverarbeitungsvorrichtung, Trennverfahren und Artikelherstellungsverfahren

EP4531083 Art A3 21. Mai 2025

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4531083
Aktenzeichen: EP24200177
Anmeldetag: 13. September 2024
Veröffentlichung: 21. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683G03F7/00H01L21/67// H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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