Laserbearbeitungsvorrichtung mit Lasersensorsystem und Verfahren zur Messung von Strahleigenschaften

EP4532134 Art A1 9. April 2025

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4532134
Aktenzeichen
EP23816515
Anmeldetag
18. April 2023
Veröffentlichung
9. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B23K26/03B23K26/067B23K26/06B23K26/082B23K26/354
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Electro Scientific Industries, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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