Laserbearbeitungsvorrichtung mit Lasersensorsystem und Verfahren zur Messung von Strahleigenschaften
EP4532134
Art A1
9. April 2025
Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4532134
- Aktenzeichen
- EP23816515
- Anmeldetag
- 18. April 2023
- Veröffentlichung
- 9. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B23K26/03B23K26/067B23K26/06B23K26/082B23K26/354
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Electro Scientific Industries, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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