Retikelbehälter mit Magnetischer Partikelerfassung

EP4533531 Art A1 9. April 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4533531
Aktenzeichen
EP23812488
Anmeldetag
24. Mai 2023
Veröffentlichung
9. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/673G03F1/66B01D46/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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