Messsystem, Verarbeitungssystem, Messverfahren und Verarbeitungsverfahren

EP4534258 Art A1 9. April 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4534258
Aktenzeichen: EP22944896
Anmeldetag: 2. Juni 2022
Veröffentlichung: 9. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B25J9/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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