Verfahren zur Herstellung eines Gruppe-Iii-Nitrid-Einkristallsubstrats

EP4534741 Art A1 9. April 2025

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4534741
Aktenzeichen: EP23815543
Anmeldetag: 28. März 2023
Veröffentlichung: 9. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/38C30B25/18H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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