Mikrowellenplasma-Cvd-Vorrichtung

EP4539245 Art A1 16. April 2025

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4539245
Aktenzeichen: EP23819806
Anmeldetag: 5. Juni 2023
Veröffentlichung: 16. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01P1/16C01B32/26C23C16/511C30B29/04H01L21/205H01P5/103H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

3.785 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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