Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements sowie Optisches System

EP4540662 Art A1 23. April 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4540662
Aktenzeichen
EP23734471
Anmeldetag
9. Juni 2023
Veröffentlichung
23. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00G02B5/08G02B7/18G02B17/06G02B27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

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