Geschlossener Regelkreis einer Plasmaquelle über Rückkopplung von einem Laserabsorptionsspeziessensor

EP4540852 Art A1 23. April 2025

Anmelder: Applied Materials Inc; 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4540852
Aktenzeichen: EP23824391
Anmeldetag: 12. Mai 2023
Veröffentlichung: 23. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials Inc;
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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