Spülgasverstärker

EP4540855 Art A1 23. April 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4540855
Aktenzeichen
EP23824669
Anmeldetag
16. Juni 2023
Veröffentlichung
23. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H01L21/3065H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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