Verfahren zur Erzeugung von Verarbeitungssteuerungsinformationen, Verarbeitungsverfahren und Modellerzeugungsverfahren

EP4541489 Art A1 23. April 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4541489
Aktenzeichen
EP22946803
Anmeldetag
15. Juni 2022
Veröffentlichung
23. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B22F10/85B29C64/386B29C64/393B33Y50/00B33Y50/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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