Verfahren zum Betreiben einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, Mikrolithographische Maske und Projektionsbelichtungsanlage
EP4542302
Art A1
23. April 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4542302
- Aktenzeichen
- EP24198801
- Anmeldetag
- 6. September 2024
- Veröffentlichung
- 23. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
103
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte