Verfahren zum Betreiben einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, Mikrolithographische Maske und Projektionsbelichtungsanlage
EP4542302
Art A1
23. April 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4542302
- Aktenzeichen
- EP24198801
- Anmeldetag
- 6. September 2024
- Veröffentlichung
- 23. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
103
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte