Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterwafers und Halbleiterwafer

EP4542623 Art A1 23. April 2025

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4542623
Aktenzeichen
EP23823641
Anmeldetag
24. Mai 2023
Veröffentlichung
23. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205C30B25/20C30B29/06H01L21/20H01L21/322H01L21/324
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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