Verfahren zur Messung der Umgebungskonzentration eines Leichten Gases mit einer Massenspektrometrischen Gegenstrom-Lecksuchvorrichtung

EP4544280 Art A1 30. April 2025

Anmelder: Inficon GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4544280
Aktenzeichen: EP23728063
Anmeldetag: 25. Mai 2023
Veröffentlichung: 30. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01M3/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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