Einsätze zur Beabstandung in Retikelbehältern
EP4548159
Art A1
7. Mai 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4548159
- Aktenzeichen
- EP23832157
- Anmeldetag
- 20. Juni 2023
- Veröffentlichung
- 7. Mai 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar