Substrat mit Mehrschichtigem Reflektierendem Film, Reflektierender Maskenrohling, Reflektierende Maske und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4550046 Art A1 7. Mai 2025

Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4550046
Aktenzeichen: EP23831478
Anmeldetag: 27. Juni 2023
Veröffentlichung: 7. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24G03F1/48C23C14/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hoya Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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