Verfahren und Vorrichtung zur Kryogenen Entfernung von Verunreinigungen aus Sauerstoffgas

EP4551311 Art A1 14. Mai 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4551311
Aktenzeichen
EP23836025
Anmeldetag
30. Juni 2023
Veröffentlichung
14. Mai 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/04C01B13/02F25J3/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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