Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers eines Optischen Elementes für die Halbleiterlithografie und Grundkörper für ein Optisches Element
EP4551533
Art A1
14. Mai 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4551533
- Aktenzeichen
- EP23738499
- Anmeldetag
- 4. Juli 2023
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C03B19/06C03C3/06C03C8/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Raunecker Patent
Ulm, Deutschland
Raunecker Patent ist eine Patentanwälte-Partnerschaft mit Hauptsitz in Ulm und Standorten in München und Markdorf, die beim Schutz technischer Erfindungen, bei Patent-, Marken- und Designanmeldungen sowie bei Markenüberwachung und Lizenzvereinbarungen begleitet.
208
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte