Verfahren und Vorrichtung mit Indiumbasierten Vorläufern zur Herstellung Integrierter Schaltungen
EP4553577
Art A3
18. Juni 2025
Anmelder: INTEL Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4553577
- Aktenzeichen
- EP24204287
- Anmeldetag
- 2. Oktober 2024
- Veröffentlichung
- 18. Juni 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004C07F5/00C07F7/10C07F17/00
Abstract
Methods and apparatus utilizing indium-based precursors in semiconductor manufacturing are disclosed. An example apparatus includes a substrate layer, the substrate layer to be included an integrated circuit package, and a photoresist on the substrate layer, the photoresist including indium.
Anmelder
- Firma
- INTEL Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Intel
US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.
8.816 Patente in unserer Datenbank