Verfahren zur Herstellung eines Schichtaufbaus für eine Mems-Vorrichtung und Mems-Vorrichtung mit einem Derartigen Schichtaufbau
EP4554891
Art A1
21. Mai 2025
Anmelder: OQmented GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4554891
- Aktenzeichen
- EP23742038
- Anmeldetag
- 12. Juli 2023
- Veröffentlichung
- 21. Mai 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- OQmented GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland