Reflektierender Fotomaskenrohling mit Mehrlagiger Reflektierender Schicht mit Periodischer Gestapelter Struktur und Herstellungsverfahren dafür

EP4557001 Art A3 30. Juli 2025

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4557001
Aktenzeichen: EP24201090
Anmeldetag: 18. September 2024
Veröffentlichung: 30. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24G03F1/38G03F1/48G03F1/52G03F1/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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