Restgasanalysator, Projektionsbelichtungsvorrichtung mit einem Restgasanalysator und Verfahren zur Restgasanalyse

EP4559017 Art A1 28. Mai 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4559017
Aktenzeichen: EP23739166
Anmeldetag: 3. Juli 2023
Veröffentlichung: 28. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/04H01J49/06H01J49/10G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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