Substrat für Radikalsensor

EP4562382 Art A1 4. Juni 2025

Anmelder: Applied Materials Inc; 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4562382
Aktenzeichen: EP23847145
Anmeldetag: 21. Juni 2023
Veröffentlichung: 4. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01K7/02G01K7/16G01K11/26G01N9/00G01D21/02H01L21/67G06N20/00G08C17/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials Inc;
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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