Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Partikeln in einem Gas einer Prozessumgebung sowie Beschichtungsanlage mit einer Solchen Vorrichtung

EP4562669 Art A1 4. Juni 2025

Anmelder: Inficon AG 🇱🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4562669
Aktenzeichen: EP22757423
Anmeldetag: 26. Juli 2022
Veröffentlichung: 4. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/04H01J37/04H01L21/67H01J47/04G03F7/20H01J37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon AG
Land: 🇱🇮 Liechtenstein

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

283 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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