Halbleitersubstratreinigungszusammensetzung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats damit

EP4564403 Art A1 4. Juni 2025

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4564403
Aktenzeichen: EP23846541
Anmeldetag: 26. Juli 2023
Veröffentlichung: 4. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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