Optische Inspektionsvorrichtung

EP4567513 Art A3 16. Juli 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4567513
Aktenzeichen
EP24209862
Anmeldetag
30. Oktober 2024
Veröffentlichung
16. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/84G03F7/00G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Kanzlei
Raunecker Patent Ulm, Deutschland

Raunecker Patent ist eine Patentanwälte-Partnerschaft mit Hauptsitz in Ulm und Standorten in München und Markdorf, die beim Schutz technischer Erfindungen, bei Patent-, Marken- und Designanmeldungen sowie bei Markenüberwachung und Lizenzvereinbarungen begleitet.

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