Verfahren und System zum Substratätzen sowie Substrathalter
EP4568935
Art A1
18. Juni 2025
Anmelder: RENA Technologies GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4568935
- Aktenzeichen
- EP23751535
- Anmeldetag
- 25. Juli 2023
- Veröffentlichung
- 18. Juni 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C03C23/00C03C15/00B23K26/55
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- RENA Technologies GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland