Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe unter Vermindertem Autodoping
EP4575049
Art A1
25. Juni 2025
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4575049
- Aktenzeichen
- EP23218055
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2023
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C30B25/02C23C16/458C30B25/12C30B29/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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